A Miniature Fourier Transform Spectrometer by a Large-Vertical-Displacement Microelectromechanical Mirror

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大垂直位移微机电镜微型傅里叶变换光谱仪

DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Huikai Xie
Huikai Xie
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
Lei Wu;A. Pais;S. Samuelson;Shuguang Guo;Huikai Xie

文献摘要

被引文献

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报道了一种基于微机电系统（MEMS）反射镜的微型傅里叶变换光谱仪。光谱分辨率为19.2厘米-1已实现与261？m的物理扫描范围内产生的大垂直位移的MEMS镜。
A microelectromechanichal system (MEMS) mirror based miniature Fourier transform spectrometer is reported. A spectral resolution of 19.2 cm-1has been achieved with a 261 ?m physical scan range generated by the large-vertical-displacement MEMS mirror.