Hydrophobic CNx thin film growth by inductively-coupled RF plasma enhanced pulsed laser deposition
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DOI：
10.1016/s0040-6090(99)00881-0
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发表时间：
2000-02
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
M. E. Ramsey;E. Poindexter;J. S. Pelt;J. Marin;S. M. Durbin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. E. Ramsey;E. Poindexter;J. S. Pelt;J. Marin;S. M. Durbin
