熱フィラメントCVD法により成長した 高濃度リンドープダイヤモンド(111)薄膜の電気的特性

熱フィラメントCVD法により成長した 高濃度リンドープダイヤモンド(111)薄膜の電気的特性
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热丝CVD法生长高浓磷掺杂金刚石(111)薄膜的电学性能

DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
片宗 優貴,和泉 亮,市川 公善,小泉 聡
片宗 優貴,和泉 亮,市川 公善,小泉 聡
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Yuki Katamune;Akira Izumi;Kimiyoshi Ichikawa;Satoshi Koizumi;片宗 優貴,和泉 亮,市川 公善,小泉 聡

文献摘要

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