混合粉体ターゲットを用いたAZOのスパッタリング成膜
混合粉体ターゲットを用いたAZOのスパッタリング成膜
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使用混合粉末靶材溅射沉积 AZO
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
須田義昭
中科院分区：
文献类型：
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作者：
大島多美子;川崎仁晴;柳生義人;猪原武士;須田義昭
