秋山伸幸, 鈴木寿朗, 川田賢司, 吉田昌弘, 八掛保夫: "SiO_2薄膜付きウエハ上微粒子からの散乱光検出"精密工学会誌. 68. 531-535 (2002)

Nobuyuki Akiyama、Toshiro Suzuki、Kenji Kawada、Masahiro Yoshida、Yasuo Yakake：“用 SiO_2 薄膜检测晶圆上细颗粒的散射光”日本精密工程学会杂志 68. 531-535 (2002)。