An Ultra-High Resolution Resonant MEMS Accelerometer

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DOI：
10.1109/memsys.2019.8870734
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发表时间：
2019
期刊：
2019 IEEE 32nd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS)
影响因子：
--
通讯作者：
Milind S. Pandit;Arif Mustafazade;Chun Zhao;G. Sobreviela;X. Zou;P. Steinmann;A. Seshia
Milind S. Pandit;Arif Mustafazade;Chun Zhao;G. Sobreviela;X. Zou;P. Steinmann;A. Seshia
中科院分区：
其他
文献类型：
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作者：
Milind S. Pandit;Arif Mustafazade;Chun Zhao;G. Sobreviela;X. Zou;P. Steinmann;A. Seshia

文献摘要

被引文献

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本文报道了一种高分辨率谐振MEMS加速度计的初步结果，该加速度计具有17.8ng/\surd{}\text{Hz}$的噪声基底和17.5ng的偏置稳定性，具有差分频率读出配置。差分读出方案提供对一阶共模环境效应的抑制。该原型传感器展示了迄今为止报道的所有MEMS谐振加速度计配置的最佳偏置稳定性和本底噪声。
This paper reports initial results on the implementation of a high-resolution resonant MEMS accelerometer with a noise floor of $17.8\text{ng}/\surd{}\text{Hz}$ and a bias stability of 17.5ng with a differential frequency readout configuration. The differential readout scheme provides for rejection of common mode environmental effects to first order. This prototype sensor demonstrates the best bias stability and noise floor of all MEMS resonant accelerometer configurations reported till date.