In-situ As-P exchange monitoring in metal-organic vapor phase epitaxy of InGaAs/InP heterostructure by spectroscopic and kinetic ellipsometry
In-situ As-P exchange monitoring in metal-organic vapor phase epitaxy of InGaAs/InP heterostructure by spectroscopic and kinetic ellipsometry
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In-GaAs/InP异质结构金属有机气相外延中As-P交换的原位光谱和动力学椭圆光度监测
DOI：
10.1016/s0040-6090(97)00894-8
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发表时间：
1998
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
K. Tada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Sudo;Y. Nakano;M. Sugiyama;Y. Shimogaki;H. Komiyama;K. Tada
