4H-SiC結晶における貫通刃状転位の上昇運動を考慮した転位動力学シミュレーション
4H-SiC結晶における貫通刃状転位の上昇運動を考慮した転位動力学シミュレーション
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考虑 4H-SiC 晶体中穿透刃位错上升运动的位错动力学模拟
DOI:
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发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
土田秀一
中科院分区:
文献类型:
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作者:
別役潔;星乃紀博;鎌田功穂;神田貴裕;土田秀一