質量分離有機金属分子イオンビーム堆積法のストイキオメトリ成膜への応用
質量分離有機金属分子イオンビーム堆積法のストイキオメトリ成膜への応用
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质量分离有机金属分子离子束沉积方法在化学计量成膜中的应用
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
木内正人
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉村智;杉本敏司;竹内孝江;村井健介;木内正人
