Liquid phase eptiaxial growth of Si layer on thin Si substrates from Si pure melts under near-equilibrium conditions
Liquid phase eptiaxial growth of Si layer on thin Si substrates from Si pure melts under near-equilibrium conditions
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近平衡条件下硅纯熔体在薄硅衬底上液相外延生长硅层
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
N.Usami
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Nakajima;K.Fujiwara;Y.Nose;N.Usami
