光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-
光ファイバからの回折球面波を用いた位相シフト干渉計測-Phase-Shifting Point Diffraction Interferometryによる大口径光学素子の絶対形状計測-
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使用来自光纤的球面衍射波的相移干涉法 -使用相移点衍射干涉法进行大直径光学元件的绝对形状测量-
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
片岡俊彦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
押鐘 寧;片岡俊彦
