Application of decomposed species generated by a heated catalyzer to ULSI fabrication processes
Application of decomposed species generated by a heated catalyzer to ULSI fabrication processes
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加热催化剂产生的分解物质在 ULSI 制造工艺中的应用
DOI：
10.1016/s0040-6090(03)00127-5
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Matsumura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Izumi;T. Miki;H. Matsumura
