Proposal of Active Aerostatic Coupling for Ultraprecision Positioning System

Proposal of Active Aerostatic Coupling for Ultraprecision Positioning System
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超精密定位系统主动空气静力耦合器的提出

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proceeding of 6th international conference of euspen Vol.1
影响因子：
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通讯作者：
S. Arii Y. Tazoe and Y. Kami
S. Arii Y. Tazoe and Y. Kami
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
H. Mizumoto;Y. Yabuta;S. Arii Y. Tazoe and Y. Kami

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