多結晶シリコン薄膜の機械的信頼性評価に関する新しい試み
多結晶シリコン薄膜の機械的信頼性評価に関する新しい試み
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多晶硅薄膜机械可靠性评估的新尝试
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
坂真澄
中科院分区：
文献类型：
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作者：
神谷庄司;本田直子;ポールオリバー;ルターパトリック;坂真澄
