Fabrication and characterization of TiO_2 thin films by magnetron sputtering --A review
Fabrication and characterization of TiO_2 thin films by magnetron sputtering --A review
复制标题
磁控溅射TiO_2薄膜的制备与表征--综述
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Tanemura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Tanemura;L.Miao;W.Wunderlich;M.Tanemura
