ソース電極とドレイン電極間の空隙を自己組織化多層膜で処理したナノスケール電界効果素子及びその製造方法
ソース電極とドレイン電極間の空隙を自己組織化多層膜で処理したナノスケール電界効果素子及びその製造方法
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一种源极和漏极间隙采用自组装多层薄膜处理的纳米级场效应器件及其制造方法
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发表时间：
2004
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