Developmento of Ultraprecision Positioning Device with 5nm Resolution

Developmento of Ultraprecision Positioning Device with 5nm Resolution
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5nm分辨率超精密定位装置的研制

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
Measurement of Science and Technology (IOP) 16(to be published)
影响因子：
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通讯作者：
K.Suzuki
K.Suzuki
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
J.Otsuka;S.ichikawa;K.Suzuki

文献摘要

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