Mechanical properties of DLC films prepared inside of micro-holes by pulse plasma CVD
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DOI：
10.1016/j.diamond.2004.06.036
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发表时间：
2004-11
影响因子：
4.1
通讯作者：
X. D. Yang;T. Saito;Y. Nakamura;Y. Kondo;N. Ohtake
中科院分区：
文献类型：
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作者：
X. D. Yang;T. Saito;Y. Nakamura;Y. Kondo;N. Ohtake
