楕円スポットを用いた共焦点式輪郭形状センサの開発
楕円スポットを用いた共焦点式輪郭形状センサの開発
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椭圆光斑共焦轮廓传感器的研制
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
柳 和久
中科院分区：
文献类型：
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作者：
深津拡也;柳 和久
