K.Kaga,T.Kimura and K.Ohe: " Spatial profile measurements of charged particles in capacitively coupled RF Oxygen discharges"Jpn.J.Appl.Phys.. 40. 330-331 (2000)
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K.Kaga、T.Kimura 和 K.Ohe：“电容耦合射频氧气放电中带电粒子的空间分布测量”Jpn.J.Appl.Phys.. 40. 330-331 (2000)
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