セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第1報)-摩擦駆動面への導入と駆動実験-
セグメント構造ダイヤモンド状炭素膜を摩擦駆動面に用いた弾性表面波リニアモータ(第1報)-摩擦駆動面への導入と駆動実験-
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摩擦驱动面采用分段类金刚石碳膜的声表面波直线电机（第1部分）-摩擦驱动面介绍及驱动实验-
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
永野 毅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小谷浩之;藤井陽介;高崎正也;足立雄介;青木佑一;大竹尚登;永野 毅
