Si基板上オンチップ光配線に向けたInP系メンブレン光検出器の設計

Si基板上オンチップ光配線に向けたInP系メンブレン光検出器の設計
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用于Si衬底上片上光布线的InP基薄膜光电探测器的设计

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
荒井滋久
荒井滋久
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
コシチン;平谷拓生;雨宮智宏;西山伸彦;荒井滋久

文献摘要

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