イディイス・イルマン、杉浦 修: "TICSを用いたSiO_4のPECVD(II)" 第41回応用物理学関係連合講演会予稿集. 782-782 (1994)
イディイス・イルマン、杉浦 修: "TICSを用いたSiO_4のPECVD(II)" 第41回応用物理学関係連合講演会予稿集. 782-782 (1994)
复制标题
Idis Illman、Osamu Sugiura：“使用 TICS 进行 SiO_4 的 PECVD (II)”第 41 届应用物理协会会议记录 782-782 (1994)。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
