フェムト秒レーザ支援マイクロマシニングによるマイクロ流路内への無機材料製微小光学素子の作製

フェムト秒レーザ支援マイクロマシニングによるマイクロ流路内への無機材料製微小光学素子の作製
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飞秒激光辅助微加工在微通道中制造无机材料微光学元件

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
平田好則
平田好則
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
溝尻瑞枝;西山宏昭;西井準治;平田好則

文献摘要

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