Electrochemical decomposition of bromosilanes made from kerf loss silicon and deposition of crystalline silicon

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切口损失硅制备溴硅烷的电化学分解和晶体硅的沉积

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
Yuma Yahata
Yuma Yahata
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Kazuaki Tomono;Ryo Sakamoto;Masahiro Okada;Shunta Kakihara;Yoshinori Tamaki;Yuma Yahata

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