酸化スズ薄膜マイクロセンサの硫化水素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果
酸化スズ薄膜マイクロセンサの硫化水素ガス検知特性に及ぼすマイクロギャップの効果
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微间隙对氧化锡薄膜微传感器硫化氢气体检测特性的影响
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中田谷昌徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中田谷昌徳
