佐藤信安,田頭博昭: "A Hybrid Model of RF Plasmas and Reactions in SiH_4/H_2" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 325-328 (1990)
佐藤信安,田頭博昭: "A Hybrid Model of RF Plasmas and Reactions in SiH_4/H_2" Proceedings of the 7th Symposium on Plasma Processing. 1. 325-328 (1990)
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Nobuyasu Sato、Hiroaki Tagashira：“SiH_4/H_2 中的 RF 等离子体和反应的混合模型”第七届等离子体处理研讨会论文集 1. 325-328 (1990)。
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