N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成
N-フルオロピリジニウム塩を用いた光エッチングによるSi表面ランダムダブルテクスチャ形成
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N-氟吡啶鎓盐光刻法在硅表面形成随机双织构
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森田 瑞穂
中科院分区：
文献类型：
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作者：
熊田 竜也;川合 健太郎;永井 隆文;足達 健二;有馬 健太;森田 瑞穂
