球型共振器構造MPCVDによる ダイヤモンド(111)膜の高速成長
球型共振器構造MPCVDによる ダイヤモンド(111)膜の高速成長
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球腔结构MPCVD高速生长金刚石(111)薄膜
DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
猪熊 孝夫
中科院分区:
文献类型:
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作者:
馬場 一気;金田 大輝;渡邊 俊介;徳田 規夫;猪熊 孝夫