低温プラズマを用いた表面付着物分析における試料台材質の影響

低温プラズマを用いた表面付着物分析における試料台材質の影響
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样品台材料对使用低温等离子体进行表面沉积物分析的影响

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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
千葉光一
千葉光一
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
岡本悠生;相田真里;三宅智子;宮原秀一;沖野晃俊;岩井貴弘;千葉光一

文献摘要

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