ffects of Low-Energy Ion Injection in Atomic Layer Processes
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复制标题
低能离子注入对原子层过程的影响
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Satoshi Hamaguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomoko Ito;Kazuhiro Karahashi;Satoshi Hamaguchi
