J.Murota et al.: "SiGe Epitaxial CVD Technology for Si-Based Ultrasmall Devices (Invited Paper)"Meeting Abstracts of International Semiconductor Technology Conference (ISTC 2002), The Electrochemical Society. Abs.No.53 (2002)
J.Murota et al.: "SiGe Epitaxial CVD Technology for Si-Based Ultrasmall Devices (Invited Paper)"Meeting Abstracts of International Semiconductor Technology Conference (ISTC 2002), The Electrochemical Society. Abs.No.53 (2002)
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J.Murota 等人：“用于硅基超小型器件的 SiGe 外延 CVD 技术（特邀论文）”国际半导体技术会议（ISTC 2002）会议摘要，电化学协会。
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