Analysis and Comparison of CD‐SEM Edge Operators: A Contribution to Feature Width Metrology
Analysis and Comparison of CD‐SEM Edge Operators: A Contribution to Feature Width Metrology
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CD-SEM 边缘算子的分析与比较：对特征宽度计量的贡献
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Bosse
中科院分区：
文献类型：
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作者：
C. G. Frase;W. Häßler;E. Buhr;K. Hahm;H. Bosse
