Yasushi Inoue: "Infrared Absorption Mneasurement During Low-temperature PECVD o Silicon-oxide Films"J. Korean Inst. Surf. Eng.. 32. 297-302 (1999)
Yasushi Inoue: "Infrared Absorption Mneasurement During Low-temperature PECVD o Silicon-oxide Films"J. Korean Inst. Surf. Eng.. 32. 297-302 (1999)
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Yasushi Inoue：“低温 PECVD 氧化硅薄膜中的红外吸收测量”J。
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