プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第3報） －反応焼結SiC材の加工における反応生成堆積物の影響－
プラズマCVMによる多成分材料の高精度加工に関する研究（第3報） －反応焼結SiC材の加工における反応生成堆積物の影響－
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利用等离子体CVM进行多组分材料高精度加工的研究（第三次报告） - 反应产物沉积对反应烧结SiC材料加工的影响 -
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
山村和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
孫栄硯;川合健太郎;有馬健太;大久保雄司;山村和也
