H.Umemoto: "Effects of Atomic Hydrogen in Gas Phase on a-Si : H and poly-Si Growth by Cat-CVD"J.Non-Cryst.Solids. 299-302,[Pt1]. 9-13 (2002)
H.Umemoto: "Effects of Atomic Hydrogen in Gas Phase on a-Si : H and poly-Si Growth by Cat-CVD"J.Non-Cryst.Solids. 299-302,[Pt1]. 9-13 (2002)
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H.Umemoto：“气相中的原子氢对 Cat-CVD 的 a-Si : H 和多晶硅生长的影响”J.Non-Cryst.Solids。
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