Three-dimensional photonic crystals created by single-step multi-directional plasma etching
Three-dimensional photonic crystals created by single-step multi-directional plasma etching
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通过单步多向等离子体蚀刻创建三维光子晶体
DOI：
10.1364/oe.22.017099
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
and Susumu Noda
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Katsuyoshi Suzuki;Keisuke Kitano;Kenji Ishizaki;and Susumu Noda
