中村 義春: "Measurement of Electron Swarm Parameters in Si_2H_6ーAr Mixtures" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 1. 317-320 (1991)
中村 義春: "Measurement of Electron Swarm Parameters in Si_2H_6ーAr Mixtures" Proceedings of the 8th Symposium on Plasma Processing. 1. 317-320 (1991)
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Yoshiharu Nakamura:“Si_2H_6ーAr混合物中电子群参数的测量”第八届等离子体处理研讨会论文集1. 317-320 (1991)。
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