Fabrication of Silicone Grating by Two-Beam Interference Method and Imprint Lithography
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复制标题
双光束干涉法和压印光刻法制作硅胶光栅
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Higuchi and *I. Yamada
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y. Ikeda;T. Higuchi and *I. Yamada
