減圧HVPE法による周期溝加工AlN/サファイア上へのELO-AlN
減圧HVPE法による周期溝加工AlN/サファイア上へのELO-AlN
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使用低压 HVPE 方法在蓝宝石上定期加工 AlN/ELO-AlN
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
平山秀樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤田浩平;三宅秀人;平松和政;乗松潤;平山秀樹
