CMOS Hotplate Chemical Microsensors
CMOS Hotplate Chemical Microsensors
复制标题
CMOS 热板化学微型传感器
DOI:
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发表时间:
2007
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
D. Barrettino
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H. Baltes;M. Graf;D. Barrettino
Miniaturized Metal-Oxide Sensors.- Thermal Modelling of CMOS Microhotplates.- Microhotplates in CMOS Technology.- Monolithic Gas Sensor Systems.- Microsensor Arrays.- Conclusion and Outlook.