マイクロ波・ミリ波帯移相器の開発に向けた強誘電体膜材料の検討~成膜条件の最適化~
マイクロ波・ミリ波帯移相器の開発に向けた強誘電体膜材料の検討~成膜条件の最適化~
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用于微波/毫米波段移相器开发的铁电薄膜材料的研究 - 成膜条件的优化 -
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
亀井 利久
中科院分区:
文献类型:
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作者:
島 宏美;内田 寛;中嶋 宇史;岡村 総一郎;福田 翔太郎;亀井 利久