Properties of mixed-phase BN films deposited by r.f. PACVD
Properties of mixed-phase BN films deposited by r.f. PACVD
复制标题
射频沉积混合相 BN 薄膜的特性
DOI：
10.1016/0040-6090(93)90650-e
复制
发表时间：
1993
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
M. Hashmi
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
D. Cameron;M. Karim;M. Hashmi
