Advanced Device Technologies beyond FinFET era for Logic Chip
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逻辑芯片超越 FinFET 时代的先进器件技术
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hitoshi Wakabayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
山岸 朋彦;堀 敦;宗田 伊理也;角嶋 邦之;筒井 一生;若林 整;五十里洋行;Hitoshi Wakabayashi;Hitoshi Wakabayashi;Hitoshi Wakabayashi;Hitoshi Wakabayashi
