軟X線吸収及び発光分光法によるSiON/SiC(0001)超薄膜の元素選択的電子状態の研究
軟X線吸収及び発光分光法によるSiON/SiC(0001)超薄膜の元素選択的電子状態の研究
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软X射线吸收和发射光谱研究SiON/SiC(0001)超薄膜的元素选择性电子态
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白澤 徹郎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S.Nishikata;G.Sazaki;T.Takeuchi;N.Usami;S.Suto;K.Nakajima;T.Sakai;白澤 徹郎
