Finite element Analysis of Single Crystal Silicon Acceleration Sensor
Finite element Analysis of Single Crystal Silicon Acceleration Sensor
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单晶硅加速度传感器的有限元分析
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Sumio Sugawara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Oglivy;H.M.Pask;J.M.Piper T.Omatsu;菅原 澄夫;菅原 澄夫;Sumio Sugawara;Sumio.Sugawara;菅原 澄夫;菅原 澄夫;菅原 澄夫;菅原 澄夫;Sumio Sugawara;Sumio Sugawara
