Single-Mask傾斜リソグラフィによる3次元マイクロミキサの作製
Single-Mask傾斜リソグラフィによる3次元マイクロミキサの作製
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单掩模倾斜光刻制造 3D 微混合器
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
小寺秀俊
中科院分区：
文献类型：
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作者：
萩尾吉則;鈴木孝明;神野伊策;小寺秀俊
