Y.Sun & T.Miyasato: "Loss Behavior of Si Substrate during Growth of the SiC Films prepared by Hydrogen Plasma Sputtering." Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36. L1071-L1074 (1997)
Y.Sun & T.Miyasato: "Loss Behavior of Si Substrate during Growth of the SiC Films prepared by Hydrogen Plasma Sputtering." Jpn.J.Appl.Phys.Vol.36. L1071-L1074 (1997)
复制标题
孙宇
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
