スパッタ法で作製したアモルファス炭素薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の熱膨張係数評価
スパッタ法で作製したアモルファス炭素薄膜およびアモルファス窒化炭素薄膜の熱膨張係数評価
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溅射法制备的非晶碳薄膜和非晶氮化碳薄膜的热膨胀系数评价
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
能木雅也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
青野祐美;宮﨑尚;春日貴章;能木雅也
