金属ナノ粒子分散薄膜へのレーザ照射によるサブミクロン微細配線形成

金属ナノ粒子分散薄膜へのレーザ照射によるサブミクロン微細配線形成
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通过激光照射金属纳米颗粒分散薄膜形成亚微米精细布线

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
第70回レーザ加工学会講演論文集
影响因子:
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通讯作者:
渡辺明
渡辺明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Akira Watanabe;渡辺明

文献摘要

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